Изучение состава покрытий на основе Mo, осаждённых на кремний в условиях ионного ассистирования
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Изучение состава покрытий на основе Mo, осаждённых на кремний в условиях ионного ассистирования
|
|
| Автор |
Барайшук, С. М.
|
|
| Создатель |
Ташлыков, И. С.
|
|
| Дата |
2024-05-16T13:02:18Z
2024-05-16T13:02:18Z 2003 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Барайшук, С. М. Изучение состава покрытий на основе Mo, осаждённых на кремний в условиях ионного ассистирования / С. М. Барайшук ; науч. рук. И. С. Ташлыков // НИРС-2003 : VIII республиканская научно-техническая конференция студентов и аспирантов, 9-10 декабря 2003 г., г. Минск : тезисы докладов : в 7 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев [и др.]. — Минск : БНТУ, 2003. – Ч. 2 : Энергетика. Приборостроение. Физика. – С. 167.
https://rep.bntu.by/handle/data/143016 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|