Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой
|
|
| Автор |
Зинчук, О. В.
Тиванов, М. С. Чигирь, С. В. |
|
| Создатель |
Федотов, А. К.
Дроздов, Н. А. |
|
| Дата |
2024-05-16T13:02:19Z
2024-05-16T13:02:19Z 2003 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Зинчук, О. В. Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой / О. В. Зинчук, М. С. Тиванов, С. В. Чигирь ; науч. рук.: А. К. Федотов, Н. А. Дроздов // НИРС-2003 : VIII республиканская научно-техническая конференция студентов и аспирантов, 9-10 декабря 2003 г., г. Минск : тезисы докладов : в 7 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев [и др.]. — Минск : БНТУ, 2003. – Ч. 2 : Энергетика. Приборостроение. Физика. – С. 183-184.
https://rep.bntu.by/handle/data/143036 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|