Лазерная обработка кремния для изготовления газовых сенсоров
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Лазерная обработка кремния для изготовления газовых сенсоров
|
|
| Автор |
Антонов, М. С.
Реутская, О. Г. |
|
| Дата |
2024-05-27T11:09:15Z
2024-05-27T11:09:15Z 2024 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Антонов, М. С. Лазерная обработка кремния для изготовления газовых сенсоров / М. С. Антонов, О. Г. Реутская // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2024. – С. 109.
https://rep.bntu.by/handle/data/143392 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|