Технология получения сапфировых пластин при производстве МЭМС
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Технология получения сапфировых пластин при производстве МЭМС
|
|
| Автор |
Войтюк, Д. М.
Россоловский, А. Ю. Колонтаева, Т. В. |
|
| Дата |
2024-05-27T11:09:16Z
2024-05-27T11:09:16Z 2024 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Войтюк, Д. М. Технология получения сапфировых пластин при производстве МЭМС / Д. М. Войтюк, А. Ю. Россоловский, Т. В. Колонтаева // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2024. – С. 119.
https://rep.bntu.by/handle/data/143403 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|