Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом
|
|
| Автор |
Роговая, И. С.
Мильчанин, О. В. Комаров, Ф. Ф. |
|
| Дата |
2024-05-27T11:09:28Z
2024-05-27T11:09:28Z 2024 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Роговая, И. С. Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом / И. С. Роговая, О. В. Мильчанин, Ф. Ф. Комаров // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2024. – С. 173-174.
https://rep.bntu.by/handle/data/143464 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|