Учебно-методический комплекс дисциплины "Фотолитография"
Электронный научный архив УРФУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Учебно-методический комплекс дисциплины "Фотолитография"
|
|
| Автор |
Батурин, И. С.
|
|
| Тематика |
НАНОТЕХНОЛОГИИ
НАНОМАТЕРИАЛЫ УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ ДЛЯ ВУЗОВ ФОТОЛИТОГРАФИЯ МИКРОЛИТОГРАФИЯ НАНОЛИТОГРАФИЯ ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК МИКРОЭЛЕКТРОНИКА |
|
| Описание |
Целью специальной дисциплины "Фотолитография" является ознакомление студентов с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии. Задачи дисциплины: - изучение основных подходов и методов микро- и нанолитографии, - изучение физических и химических процессов, протекающих в пленках резиста при их нанесении, термической обработке, экспонировании и проявлении, - изучение процессов формирования изображения в слое резиста при его экспонировании в контактной и проекционной фотолитографии, - обзор различных методов нанолитографии, - изучение основ технологий переноса рисунка со слоя фоторезиста на поверхность пластины с помощью нанесения, травления или модификации поверхности, - обзор основных тенденций и перспектив развития микроэлектронной промышленности и технологий микро- и нанолитографии в частности, - ознакомление с технологией чистых помещений, чистых технологических сред и чистых материалов. УМКД включает программу дисциплины, вопросы для самоконтроля, методические указания, экзаменационные материалы, презентации лекций. Предназначен для студентов 4 курса.
|
|
| Дата |
2008-12-12T08:45:07Z
2008-12-10T11:17:07Z 2008 |
|
| Тип |
Other
Other (info:eu-repo/semantics/other) Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) |
|
| Идентификатор |
Батурин, Иван Сергеевич. Учебно-методический комплекс дисциплины "Фотолитография" [Электронный ресурс] / И. С. Батурин ; Федер. агентство по образованию, Урал. гос. ун-т им. А. М. Горького, ИОНЦ "Нанотехнологии и перспективные материалы" [и др.]. — Электрон. дан. (67,7 Мб). — Екатеринбург : [б. и.], 2008.
http://elar.urfu.ru/handle/10995/1552 |
|
| Формат |
36560703 bytes
application/octet-stream |
|
| Издатель |
б. и.
|
|