Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources |
|
| Автор |
Иванов, И. А.
Слуцкий, А. Г. Шейнерт, В. А. Ковалевич, Э. В. Хлебцевич, В. Н. |
|
| Тематика |
Комплексные силициды
Восстановительная и индукционная плавка Литые катоды-мишени Макро- и микроструктура Complex silicides Reduction and induction melting Cast cathodes-targets Macro- and microstructure |
|
| Описание |
В различных отраслях промышленности широко применяются покрытия на основе силицидов разных металлов с использованием вакуумно-плазменной обработки изделий. Качество таких покрытий определяется степенью химической чистоты катода-мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также величиной ускоряющего потенциала, подаваемого на подложку. Традиционные способы получения многокомпонентных мишеней имеют ряд недостатков, таких, как высокая остаточная пористость, избыточное содержание примесей, а также необходимость использования дорогостоящего оборудования. Перспективным является использование литейных технологий в процессе производства катодов-мишеней. В работе представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований особенностей изготовления катодов-мишеней для вакуумных ионно-плазменных источников методами восстановительной и высокоскоростной индукционной плавки. В качестве материала использовали силициды титана, меди и никеля.
|
|
| Дата |
2018-07-05T18:16:23Z
2018-07-05T18:16:23Z 2018 |
|
| Тип |
Article
|
|
| Идентификатор |
Иванов, И. А. Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников = Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources / И. А. Иванов // Литье и металлургия. - 2018. – № 2 (91). - С. 99-102.
https://rep.bntu.by/handle/data/43548 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|