Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии
|
|
| Автор |
Рохацевич, М. В.
Щербакова, Е. Н. Хорт, А. А. |
|
| Дата |
2018-08-30T09:33:29Z
2018-08-30T09:33:29Z 2018 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Рохацевич, М. В. Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии / М. В. Рохацевич, Е. Н. Щербакова, А. А. Хорт // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 221-222.
https://rep.bntu.by/handle/data/46841 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|