Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем
|
|
| Автор |
Рябцев, Р. Л.
|
|
| Создатель |
Комаровская, В. М.
|
|
| Дата |
2018-09-28T12:00:00Z
2018-09-28T12:00:00Z 2018 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Рябцев, Р. Л. Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем / Р. Л. Рябцев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов, 24–25 мая 2018 г. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 185-187.
https://rep.bntu.by/handle/data/47868 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|