Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
|
|
| Автор |
Грудинин, Владислав Алексеевич
Сиделёв, Дмитрий Владимирович Шабунин, Артём Сергеевич Блейхер, Галина Алексеевна |
|
| Тематика |
самораспыление
осаждение медные покрытия магнетроны мишени магнетронные распылительные системы скорость покрытия испарение |
|
| Дата |
2018-12-05T06:13:50Z
2018-12-05T06:13:50Z 2018 |
|
| Тип |
Conference Paper
Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) Conference paper (info:eu-repo/semantics/conferencePaper) |
|
| Идентификатор |
Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью / В. А. Грудинин [и др.] // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 284-285].
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Связанные ресурсы |
Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск, 2018.
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|