Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
|
|
| Автор |
Грудинин, Владислав Алексеевич
Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
|
| Тематика |
магнетронное распыление
сильноточное распыление мишени тонкопленочные покрытия ионно-плазменные установки теплопроводность алюминий плазма осаждение |
|
| Дата |
2018-12-05T06:13:50Z
2018-12-05T06:13:50Z 2018 |
|
| Тип |
Conference Paper
Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) Conference paper (info:eu-repo/semantics/conferencePaper) |
|
| Идентификатор |
Грудинин В. А. Сильноточное магнетронное распыление Al мишени / В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 286-287].
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Связанные ресурсы |
Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск, 2018.
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|