Технологические среды
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Технологические среды
Пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники» |
|
| Автор |
Балохонов, Д. В.
|
|
| Описание |
Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения расчетно-практических работ по курсу «Технологические среды»; расчетно-практические работы, посвященные основным технологическим средам для производства интегральных микросхем и материалов для них; теоретические сведения о вакууме, способах его получения и оборудовании для этого; информацию о способах очистки воздуха при производстве полупроводниковых приборов. Предназначено для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники».
|
|
| Дата |
2019-02-06T07:25:20Z
2019-02-06T07:25:20Z 2018 |
|
| Тип |
Book
Learning Object |
|
| Идентификатор |
Балохонов, Д. В. Технологические среды : пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники» / Д. В. Балохонов. – Минск : БНТУ, 2018. – 72 с.
978-985-583-049-9 https://rep.bntu.by/handle/data/49483 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|