Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме
|
|
| Автор |
Иванов, И. А.
Ковалевич, Э. В. Слуцкий, А. Г. |
|
| Дата |
2019-02-27T07:50:24Z
2019-02-27T07:50:24Z 2018 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Иванов, И. А. Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич, А. Г. Слуцкий // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 1. - С. 299.
http://rep.bntu.by/handle/data/50081 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|