Разработка высоковакуумной системы на базе диффузионного насоса для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Разработка высоковакуумной системы на базе диффузионного насоса для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления
|
|
| Автор |
Янчик, А. Д.
|
|
| Тематика |
Реферат
|
|
| Дата |
2019-04-18T12:33:45Z
2019-04-18T12:33:45Z 2019 |
|
| Идентификатор |
http://rep.bntu.by/handle/data/51963
|
|