Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c
|
|
| Автор |
Телеш, Е. В.
Дуксин, М. В. |
|
| Дата |
2019-04-25T06:01:41Z
2019-04-25T06:01:41Z 2018 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Телеш, Е. В. Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c / Е. В. Телеш, М. В. Дуксин // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 229-230.
http://rep.bntu.by/handle/data/52141 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|