Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
|
|
| Автор |
Бельский, Д. В.
Мадвейко, С. И. Бордусов, С. В. Тихон, О. И. Лушакова, М. С. |
|
| Дата |
2019-04-25T07:03:50Z
2019-04-25T07:03:50Z 2018 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 240-241.
http://rep.bntu.by/handle/data/52153 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|