Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния
|
|
| Автор |
Гусев, О. К.
Шадурская, Л. И. |
|
| Дата |
2019-04-25T07:18:05Z
2019-04-25T07:18:05Z 2018 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Гусев, О. К. Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния / О. К. Гусев, Л. И. Шадурская // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 2. - С. 162.
http://rep.bntu.by/handle/data/52160 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|