Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии
|
|
| Автор |
Жарин, А. Л.
|
|
| Дата |
2019-04-26T06:06:15Z
2019-04-26T06:06:15Z 2018 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Жарин, А. Л. Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии/ А. Л. Жарин // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 2. - С. 166.
http://rep.bntu.by/handle/data/52188 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|