Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования
|
|
| Автор |
Карпович, С. Е.
Кузнецов, В. В. Войтов, А. Ю. |
|
| Дата |
2019-04-26T06:39:23Z
2019-04-26T06:39:23Z 2019 |
|
| Тип |
Статья (Article)
|
|
| Идентификатор |
Карпович, С. Е. Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования / С. Е. Карпович, В. В. Кузнецов, А. Ю. Войтов // Теоретическая и прикладная механика [Электронный ресурс] : международный научно-технический сборник / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. В. Чигарев (пред. редкол.). – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 34. – С. 17-22.
http://rep.bntu.by/handle/data/52194 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|