Просмотреть запись

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07

Электронный архив ТПУ

Информация об архиве | Просмотр оригинала
 
 
Поле Значение
 
Заглавие Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
 
Автор Шипилова, Анна Викторовна
 
Создатель Соловьев, Андрей Александрович
 
Тематика Электрохимия прикладная
диссертации
структуры
свойства
тонкие пленки
магнетронное распыление
магнетронное осаждение
электролиты
топливные элементы
распылительные системы
аноды
приповерхностные слои
твердооксидные элементы
покрытия
измерительное оборудование
многослойные структуры
01.04.07
 
Дата 2019-02-12T06:07:09Z
2019-02-12T06:07:09Z
2018
 
Тип Thesis
Dissertation
info:eu-repo/semantics/authorVersion
 
Идентификатор Шипилова А. В. Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2018. — 180 л. : ил.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762
 
Язык ru
 
Права Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
 
Формат application/pdf