Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригиналаПоле | Значение | |
Заглавие |
Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
|
|
Автор |
Шипилова, Анна Викторовна
|
|
Создатель |
Соловьев, Андрей Александрович
|
|
Тематика |
Электрохимия прикладная
диссертации структуры свойства тонкие пленки магнетронное распыление магнетронное осаждение электролиты топливные элементы распылительные системы аноды приповерхностные слои твердооксидные элементы покрытия измерительное оборудование многослойные структуры 01.04.07 |
|
Дата |
2019-02-12T06:07:09Z
2019-02-12T06:07:09Z 2018 |
|
Тип |
Thesis
Dissertation info:eu-repo/semantics/authorVersion |
|
Идентификатор |
Шипилова А. В. Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2018. — 180 л. : ил.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762 |
|
Язык |
ru
|
|
Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
Формат |
application/pdf
|
|