Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
|
|
| Автор |
Сиделёв, Дмитрий Владимирович
|
|
| Создатель |
Кривобоков, Валерий Павлович
|
|
| Тематика |
Тонкопленочные покрытия
авторефераты диссертаций осаждение покрытия хром никель магнетронные диоды мишени тонкие пленки тонкопленочные материалы магнетронное распыление металлические мишени кристаллические структуры 01.04.07 |
|
| Дата |
2019-02-12T07:19:13Z
2019-02-12T07:19:13Z 2018 |
|
| Тип |
Thesis
info:eu-repo/semantics/authorVersion |
|
| Идентификатор |
Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. — 22 с. : ил.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|