Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
|
|
| Автор |
Шипилова, Анна Викторовна
|
|
| Создатель |
Соловьев, Андрей Александрович
|
|
| Тематика |
Электрохимия прикладная
авторефераты диссертаций структуры свойства тонкие пленки магнетронное распыление магнетронное осаждение электролиты топливные элементы распылительные системы аноды приповерхностные слои 01.04.07 |
|
| Дата |
2019-02-12T07:19:14Z
2019-02-12T07:19:14Z 2018 |
|
| Тип |
Thesis
info:eu-repo/semantics/authorVersion |
|
| Идентификатор |
Шипилова А. В. Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2018. — 22 с. : ил.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52833 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|