Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии
|
|
| Автор |
Козлова, Т. А.
|
|
| Дата |
2019-08-23T07:03:38Z
2019-08-23T07:03:38Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Козлова, Т. А. Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии / Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 197-198.
http://rep.bntu.by/handle/data/56315 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|