Основы электронно-лучевой литографии
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Основы электронно-лучевой литографии
|
|
| Автор |
Кохнюк, С. А.
Щербакова, Е. Н. |
|
| Дата |
2019-08-23T07:07:30Z
2019-08-23T07:07:30Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Кохнюк, С. А. Основы электронно-лучевой литографии / С. А. Кохнюк, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 200-201.
http://rep.bntu.by/handle/data/56318 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|