Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии
|
|
| Автор |
Фолынсков, Д. И.
Тихоновец, Е. С. Шадурская, Л. И. |
|
| Дата |
2019-08-26T07:00:02Z
2019-08-26T07:00:02Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Фолынсков, Д. И. Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии / Д. И. Фолынсков, Е. С. Тихоновец, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 236.
http://rep.bntu.by/handle/data/56392 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|