Оценка факторов, влияющих на измерение удельного электрического сопротивления материала стандартных образцов кремния монокристаллического
Электронный научный архив УРФУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Оценка факторов, влияющих на измерение удельного электрического сопротивления материала стандартных образцов кремния монокристаллического
|
|
| Автор |
Мехонцева, Г. И.
Гонтарь, Л. А. Терентьев, Г. И. |
|
| Тематика |
RESISTIVITY
FOUR-PROBE METHOD MONOCRYSTALLINE SILICON УДЕЛЬНОЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫЙ МЕТОД КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ |
|
| Описание |
When measuring the electrical resistivity of the four-probe method, it is necessary to take into account the factors that make an error in the final result. In this paper, the main influencing factors for the measurement of silicon wafers are estimated, correction factors are selected and ap-propriate conclusions are drawn.
При измерении удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом необходимо брать во внимание факторы, которые вносят дополнительные отклонения от истинного значения. В данной работе оценены основные влияющие факторы для измерения пластин кремния монокристаллического диаметром 100 мм, а также выбраны поправочные коэффициенты и сделаны соответствующие выводы. |
|
| Дата |
2019-12-12T07:58:49Z
2019-12-12T07:58:49Z 2019 |
|
| Тип |
Conference Paper
Conference object (info:eu-repo/semantics/conferenceObject) Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) |
|
| Идентификатор |
Мехонцева Г. И. Оценка факторов, влияющих на измерение удельного электрического сопротивления материала стандартных образцов кремния монокристаллического / Г. И. Мехонцева, Л. А. Гонтарь, Г. И. Терентьев // Физика. Технологии. Инновации : cборник материалов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : [УрФУ], 2019. — C. 176-186.
621.315.611:537.8 http://elar.urfu.ru/handle/10995/78812 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Связанные ресурсы |
Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|
| Издатель |
Уральский федеральный университет
|
|