Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров: учебное пособие
Электронный научный архив УРФУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров: учебное пособие
|
|
| Автор |
Марков, В. Ф.
Маскаева, Л. Н. |
|
| Создатель |
Марков, В. Ф.
|
|
| Тематика |
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СЕНСОРЫ |
|
| Описание |
В учебном пособии даны характеристики и рассмотрены технологические приемы получения тонкопленочных твердотельных сенсоров, их конструкционные особенности, основные параметры, назначение и области их применения. Особое внимание уделено оптическим датчиками и химическим сенсорам, их характеристикам и основным преимуществам. Представлены общие положения и законы распространения ИК-излучения. Рассмотрено использование наноструктурных материалов для создания фотодетекторов и сенсоров различного назначения. Пособие предназначено студентам высших учебных заведений, обучающимся по направлениям подготовки 18.03.01 и 18.04.01 «Химическая технология». Оно может быть также полезно аспирантам и преподавателям вузов материаловедческих специальностей.
|
|
| Дата |
2019-12-17T10:09:56Z
2019-12-17T10:09:56Z 2019 |
|
| Тип |
Book
Book (info:eu-repo/semantics/book) Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) |
|
| Идентификатор |
Марков, В. Ф. Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров: учебное пособие : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета для студентов вуза, обучающихся по направлениям подготовки 18.03.01, 18.04.01 — Химическая технология / В. Ф. Марков, Л. Н. Маскаева ; под общей редакцией В. Ф. Маркова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета. — 148 с. — 978-5-7996-2769-0. — Текст : непосредственный.
978-5-7996-2769-0 http://elar.urfu.ru/handle/10995/78960 41490504 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|
| Издатель |
Издательство Уральского университета
|
|