Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках
|
|
| Автор |
Захлебаева, А. И.
Реутская, О. Г. Горох, Г. Г. |
|
| Описание |
Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем.
|
|
| Дата |
2019-10-29T09:53:18Z
2019-10-29T09:53:18Z 2016 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Захлебаева, А. И. Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках / А. И. Захлебаева, Г. Г. Горох, О. Г. Реутская // V Всероссийский конгресс молодых ученых : материалы конгресса, (Санкт-Петербург, 12-15 апреля 2016 г.) : в 2 т. – Санкт-Петербург, 2016. – Т. 2. – С. 252-257.
https://rep.bntu.by/handle/data/58425 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Санкт-Петербург
|
|