Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении
|
|
| Автор |
Комаровская, В. М.
Терещук, О. И. |
|
| Дата |
2019-11-15T07:03:50Z
2019-11-15T07:03:50Z 2018 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Комаровская, В. М. Ионные источники для ионного ассистирования в вакуумно-плазменном напылении / В. М. Комаровская, О. И. Терещук // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. – Минск : БНТУ, 2018. – Т. 4. – С. 210.
http://rep.bntu.by/handle/data/59248 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|