Зондовые электрометрические методы для измерения удельного электрического сопротивления ионно-легированных и диффузионных слоев
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Зондовые электрометрические методы для измерения удельного электрического сопротивления ионно-легированных и диффузионных слоев
|
|
| Автор |
Тявловский, А. К.
Воробей, Р. И. Гусев, О. К. Жарин, А. Л. Пантелеев, К. В. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Свистун, А. И. Тявловский, К. Л. |
|
| Дата |
2020-01-03T08:11:50Z
2020-01-03T08:11:50Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Зондовые электрометрические методы для измерения удельного электрического сопротивления ионно-легированных и диффузионных слоев / А. К. Тявловский [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 36-38.
https://rep.bntu.by/handle/data/62052 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|