Установка для бесконтактного контроля однородности распределения параметров ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Установка для бесконтактного контроля однородности распределения параметров ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм
|
|
| Автор |
Свистун, А. И.
Воробей, Р. И. Гусев, О. К. Жарин, А. Л. Пантелеев, К. В. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Тявловский, А. К. Тявловский, К. Л. |
|
| Дата |
2020-01-03T08:11:53Z
2020-01-03T08:11:53Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Установка для бесконтактного контроля однородности распределения параметров ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм / А. И. Свистун [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 98-100.
https://rep.bntu.by/handle/data/62087 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|