Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120
|
|
| Автор |
Бринкевич, Д. И.
Лапчук, Н. М. Оджаев, В. Б. Олешкевич, А. Н. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. Черный, В. В. |
|
| Дата |
2020-01-03T09:35:33Z
2020-01-03T09:35:33Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120 / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 196-198.
https://rep.bntu.by/handle/data/62147 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|