Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом
|
|
| Автор |
Телеш, Е. В.
Дуксин, М. В. |
|
| Дата |
2020-01-03T09:35:36Z
2020-01-03T09:35:36Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Телеш, Е. В. Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом / Е. В. Телеш, М. В. Дуксин // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 256-257.
https://rep.bntu.by/handle/data/62181 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|