Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур
|
|
| Автор |
Сычик, В. А.
Глухманчук, В. В. Сикорский, И. В. |
|
| Дата |
2020-01-03T09:44:13Z
2020-01-03T09:44:13Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Сычик, В. А. Устройство для синтеза диэлектрических слоев МДП-структур / В. А. Сычик, В. В. Глухманчук, И. В. Сикорский // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 334-335.
https://rep.bntu.by/handle/data/62209 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|