Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов
|
|
| Автор |
Оджаев, В. Б.
Панфиленко, А. К. Петлицкий, А. Н. Просолович, В. С. Ковальчук, Н. С. Соловьев, Я. А. Филипеня, В. А. Челядинский, А. Р. Черный, В. В. Шестовский, Д. В. Шпаковский, С. В. |
|
| Дата |
2020-01-03T09:44:13Z
2020-01-03T09:44:13Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 345-346.
https://rep.bntu.by/handle/data/62215 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|