Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой
|
|
| Автор |
Чапланов, А. М.
Щербакова, Е. Н. |
|
| Дата |
2020-01-03T09:44:14Z
2020-01-03T09:44:14Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Чапланов, А. М. Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой / А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 351-352.
https://rep.bntu.by/handle/data/62218 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|