Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин
|
|
| Автор |
Прислопский, С. Я.
Смирнов, А. Г. Станкевич, В. В. Балыкин, И. В. Рыжевич, А. А. |
|
| Дата |
2020-01-03T09:44:20Z
2020-01-03T09:44:20Z 2019 |
|
| Тип |
Научный доклад (Working Paper)
|
|
| Идентификатор |
Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин / С. Я. Прислопский [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 463-465.
https://rep.bntu.by/handle/data/62282 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|