Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников
|
|
| Автор |
Иванов, И. А.
Ковалевич, Э. В. Кулинич, И. Л. Примшиц, Д. В. |
|
| Дата |
2020-01-21T06:50:23Z
2020-01-21T06:50:23Z 2019 |
|
| Тип |
Статья (Article)
|
|
| Идентификатор |
Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 40. – С. 159-162.
https://rep.bntu.by/handle/data/62892 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|