Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам
|
|
| Автор |
Ковалевский, В. Н.
Фигурин, К. Б. Фигурин, Б. Л. |
|
| Дата |
2020-02-19T12:45:10Z
2020-02-19T12:45:10Z 2002 |
|
| Тип |
Статья (Article)
|
|
| Идентификатор |
Ковалевский, В. Н. Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам / В. Н. Ковалевский, К. Б. Фигурин, Б. Л. Фигурин // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: В. И. Тимошпольский (гл. ред) [и др.]. – Минск : Вышэйшая школа, 2002. – Вып. 26. – С. 87-91.
https://rep.bntu.by/handle/data/67330 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
Вышэйшая школа
|
|