Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригиналаПоле | Значение | |
Заглавие |
Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов
|
|
Автор |
Соколова, К. Г.
Сунка, В. Я. Трафимова, Е. В. |
|
Описание |
В данной работе приведены методики измерения компонент тензора удельного электросопротивления полупроводниковых толстых и тонких (микронных) образцов. Описана оптимизация минимума погрешности измерения в зависимости от геометрических размеров измерительных зондов, а также места расположения зондов на образцах.
|
|
Дата |
2020-02-28T10:06:04Z
2020-02-28T10:06:04Z 2012 |
|
Тип |
Статья (Article)
|
|
Идентификатор |
Соколова, К. Г. Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов / К. Г. Соколова, В. Я. Сунка, Е. В. Трафимова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов : по материалам Международной научно-технической конференции «Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии в машиностроении», 06-09 апреля 2010 года : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2012. – Вып. 26, т. 2. – С. 268-274.
https://rep.bntu.by/handle/data/67953 |
|
Язык |
ru
|
|
Охват |
Минск
|
|
Издатель |
БНТУ
|
|