Вакуумная система для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Вакуумная система для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий
|
|
| Автор |
Шелег, В. В.
Жиркевич, Н. И. |
|
| Описание |
Приведено новое решение конструкции вакуумной системы для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий на основе Ti (и его соединений с азотом и углеродом) и тетраэдрического аморфного углерода.
|
|
| Дата |
2020-03-18T07:49:09Z
2020-03-18T07:49:09Z 2009 |
|
| Тип |
Статья (Article)
|
|
| Идентификатор |
Шелег, В. В. Вакуумная система для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий / В. В. Шелег, Н. И. Жиркевич // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2009. – Вып. 24, т. 1. – С. 11-13.
https://rep.bntu.by/handle/data/68644 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|