Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики
|
|
| Автор |
Колешко, В. М.
Гулай, А. В. Гулай, В. А. Полынкова, Е. В. |
|
| Описание |
Рассмотрены особенности инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики и методы их кибернетического моделирования. Исследована технологическая инвариантность процесса формирования туннельных сенсорных наноструктур металл-диэлектрик-металл. Показано, что достижение инвариантности МДМ-наноструктур возможно при выполнении их на основе тонких ВТСП-пленок. Разработан способ получения тонких пленок из ВТСП-материалов для туннельных наноструктур путем распыления фторидных мишеней. Изучен процесс формирования сенсорных ПАВ-наноструктур для контроля давления, инвариантных по отношению к изменению температуры. Выполнен анализ инвариантности сенсорных ПАВ-наноструктур при осаждении на звукопровод тонких пленок фторидов РЗЭ. Установлены оптимальные параметры процесса получения инвариантных сенсорных ПАВ- наноструктур на основе редкоземельных фторидов.
|
|
| Дата |
2020-03-20T07:40:46Z
2020-03-20T07:40:46Z 2009 |
|
| Тип |
Статья (Article)
|
|
| Идентификатор |
Моделирование инвариантных микро-нанотехнологий сенсорики / В. М. Колешко [и др.] // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2009. – Вып. 24, т. 2. – С. 223-228.
https://rep.bntu.by/handle/data/68747 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|