Обзор современных методов формирования потоков частиц при нанесении вакуумных покрытий
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Обзор современных методов формирования потоков частиц при нанесении вакуумных покрытий
|
|
| Автор |
Мисник, И. В.
Иванов, И. А. |
|
| Дата |
2021-10-11T10:51:06Z
2021-10-11T10:51:06Z 2012 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Мисник, И. В. Обзор современных методов формирования потоков частиц при нанесении вакуумных покрытий / И. В. Мисник, И. А. Иванов // Проблемы инженерно-педагогического образования в Республике Беларусь : материалы VI Международной научно-практической конференции, 29-30 ноября 2012 г. : в 2 ч. / редкол.: Б. М. Хрусталев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – Ч. 2. – С. 122-128.
https://rep.bntu.by/handle/data/104061 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|