Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме
|
|
| Автор |
Коротченя, М. А.
Сивак, Д. И. |
|
| Создатель |
Бабук, В. В.
|
|
| Описание |
Современное развитие нанотехнологий, как одного из приоритетных направлений современной науки, мнельзя представить без применения вакуумных устройств и технологий). Это связано с тем, что именно в вакууме можно сохранить рабочую поверхность «атомарно-чистой» в течение всего технологического процесса. |
|
| Дата |
2022-10-21T12:02:56Z
2022-10-21T12:02:56Z 2022 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Коротченя, М. А. Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме / М. А. Коротченя, Д. И. Сивак ; науч. рук. В. В. Бабук // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 356-359.
https://rep.bntu.by/handle/data/120891 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|