Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
|
|
| Автор |
Мацкевич, Э. П.
|
|
| Создатель |
Комаровская, В. М.
|
|
| Описание |
Увеличение производительности магнетронной распылительной системы путем повышения тока разряда негативно влияет на работу магнетронной распылительной системы (МРС). В связи с этим наибольший интерес предоставляет МРС с жидкофазной мишенью. В данной статье рассмотрены две основные конструкции МРС с жидкофазной мишенью. Предоставлены основные преимущества и недостатки данных конструкций и сравнительная характеристика с обычными МРС. Так же сделаны выводы про внедрение данных систем в производство. |
|
| Дата |
2022-10-21T12:02:58Z
2022-10-21T12:02:58Z 2022 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Мацкевич, Э. П. Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 367-370.
https://rep.bntu.by/handle/data/120896 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|