Модернизация устройства распыления материала катода вакуумной установки
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Модернизация устройства распыления материала катода вакуумной установки
|
|
| Автор |
Мацкевич, Э. П.
|
|
| Создатель |
Иващенко, С. А.
|
|
| Описание |
В данной статье рассматривается проблема неравномерного нанесения покрытия. Предложено использовать специальные конические экраны для решения данной проблемы. Выявлены оптимальные размеры экрана и расстояние откатода, при котором достигаются наилучшие результаты. |
|
| Дата |
2022-10-21T12:02:58Z
2022-10-21T12:02:58Z 2022 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Мацкевич, Э. П. Модернизация устройства распыления материала катода вакуумной установки / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. С. А. Иващенко // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 374-377.
https://rep.bntu.by/handle/data/120898 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|