Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением
|
|
| Автор |
Терещук, О. И.
Комаровская, В. М. Гладкий, В. Ю. |
|
| Дата |
2022-11-15T09:25:21Z
2022-11-15T09:25:21Z 2015 |
|
| Тип |
Article
|
|
| Идентификатор |
Терещук, О. И. Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением / О. И. Терещук, В. М. Комаровская, В. Ю. Гладкий // Инженер-механик. – 2015. – № 4. – С. 13-16.
https://rep.bntu.by/handle/data/122525 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|