Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
|
|
| Автор |
Гусс, Людмила Евгеньевна
|
|
| Создатель |
Сиделёв, Дмитрий Владимирович
|
|
| Тематика |
магнетронная дуальная распылительная система
карбид титана функциональные свойства структурные свойства износостойкое покрытие magnetron dual sputtering system titanium carbide functional properties structural properties wear-resistant coating 16.04.01 621.385.64:539.216.2:621.793.7:669.295 |
|
| Описание |
Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. В процессе исследования были получены данные о влиянии мощности магнетрона на структурные и функциональные свойства карбида титана. Были определены оптимальные режимы для получения карбида титана с составом, наиболее близким к стехиометрическому.
Sputtering of titanium carbide films using a dual magnetron sputtering system. In the course of the study, data were obtained on the effect of the power of the magnetron on the structural and functional properties of titanium carbide. Optimal conditions for obtaining titanium carbide with a composition closest to stoichiometric were determined. |
|
| Дата |
2021-06-17T12:17:08Z
2021-06-17T12:17:08Z 2021 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Гусс Л. Е. Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : магистерская диссертация / Л. Е. Гусс ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2021.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67247 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|