Плазмохимическое осаждение плёнок гидрогенизированно-го аморфного углерода
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Плазмохимическое осаждение плёнок гидрогенизированно-го аморфного углерода
|
|
| Автор |
Гречкина, Анастасия Михайловна
|
|
| Создатель |
Сиделёв, Дмитрий Владимирович
|
|
| Тематика |
алмазоподобное углеродное покрытие
гидрогенизированный аморфный углерод твердость адгезия коэффициент трения diamond-like carbon coating hydrogenated amorphous carbon hardness adhesion coefficient of friction 16.04.01 539.216.2:66.011:533.9:621.359 |
|
| Описание |
Получение данных о влиянии Uсм на структурные и функциональные свойства подложек с a-C:H покрытием, полученных с помощью метода плазмохимического осаждения из газовой фазы, в смеси Ar/C2H2 с приложением к подложке отрицательного напряжения смещения в диапазоне от 50-100 В.
The aim of this work is to obtain data on the effect of the bias voltage (Ucm) in the range from 50 to 100 V applied to the substrate on the structural and functional properties of a-C: H coatings obtained by plasma-chemical deposition in an Ar + C2H2 mixture. |
|
| Дата |
2021-06-18T14:37:08Z
2021-06-18T14:37:08Z 2021 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Гречкина А. М. Плазмохимическое осаждение плёнок гидрогенизированно-го аморфного углерода : магистерская диссертация / А. М. Гречкина ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2021.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67379 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|