Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригиналаПоле | Значение | |
Заглавие |
Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8
|
|
Автор |
Прокопьев, Айсен Русланович
|
|
Создатель |
Неустроев, Ефим Петрович
|
|
Тематика |
Углеродные пленки, тонкие — Получение
диссертации углеродные пленки тонкие пленки синтез плазменное осаждение отжиг атомы углерода плазма метана аморфные гидрогенизированные пленки термообработка инертные газы твердотельные подложки морфология поверхности электрические свойства оптические свойства атомно-силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света ультрафиолетовая спектроскопия инфракрасная спектроскопия 01.04.07 |
|
Дата |
2023-08-24T09:15:55Z
2023-08-24T09:15:55Z 2023 |
|
Тип |
Thesis
Dissertation info:eu-repo/semantics/authorVersion |
|
Идентификатор |
Прокопьев, А. Р. Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 / А. Р. Прокопьев ; Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова ; науч. рук. Е. П. Неустроев. — Якутск, 2023.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973 |
|
Язык |
ru
|
|
Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
Attribution-NonCommercial 4.0 International https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ |
|
Формат |
application/pdf
|
|