Просмотреть запись

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8

Электронный архив ТПУ

Информация об архиве | Просмотр оригинала
 
 
Поле Значение
 
Заглавие Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8
 
Автор Прокопьев, Айсен Русланович
 
Создатель Неустроев, Ефим Петрович
 
Тематика Углеродные пленки, тонкие — Получение
диссертации
углеродные пленки
тонкие пленки
синтез
плазменное осаждение
отжиг
атомы углерода
плазма метана
аморфные гидрогенизированные пленки
термообработка
инертные газы
твердотельные подложки
морфология поверхности
электрические свойства
оптические свойства
атомно-силовая микроскопия
сканирующая электронная микроскопия
рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия
спектроскопия комбинационного рассеяния света
ультрафиолетовая спектроскопия
инфракрасная спектроскопия
01.04.07
 
Дата 2023-08-24T09:15:55Z
2023-08-24T09:15:55Z
2023
 
Тип Thesis
Dissertation
info:eu-repo/semantics/authorVersion
 
Идентификатор Прокопьев, А. Р. Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 / А. Р. Прокопьев ; Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова ; науч. рук. Е. П. Неустроев. — Якутск, 2023.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973
 
Язык ru
 
Права Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
Attribution-NonCommercial 4.0 International
https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
 
Формат application/pdf